無掩膜光刻機(jī)

簡要描述：CG-MLC6系列直寫光刻機(jī)是一款精巧型光刻產(chǎn)品。該設(shè)備采用數(shù)字光刻技術(shù)，無需掩模版，能夠直接將版圖信息轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的襯底上。CG-MLC6系列功能靈活、體積小、性價(jià)比高，專為各高校、實(shí)驗(yàn)室及研究機(jī)構(gòu)量身打造。其主要應(yīng)用產(chǎn)品包括各類MEMS制作（如MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、加速度計(jì)、陀螺儀、超聲波傳感器、壓電傳感器）、掩模板制作等。

Name: 無掩膜光刻機(jī)CG-MLC6系列
Brand: 重光
Availability: InStock

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

CG-MLC6系列

廠商性質(zhì)

生產(chǎn)廠家

更新時(shí)間

2026-06-23

瀏覽次數(shù)

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

詳細(xì)介紹

品牌	重光

光刻機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：

數(shù)字光刻系統(tǒng)

微納器件無掩模版直寫光刻

光掩模版制作

3D結(jié)構(gòu)曝光功能

自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能

用戶自定義標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)功能

可視化定點(diǎn)曝光功能

自動(dòng)聚焦功能

不規(guī)則樣片曝光

快速、精細(xì)兩種曝光模式

支持多種數(shù)據(jù)格式（GDSⅡ/ Gerber/ O DB++）

背部對(duì)準(zhǔn)功能（選配）

405nm LD光源（375nm可選）

直寫光刻機(jī)參數(shù)：