針筒式自動旋轉涂布機

簡要描述：針筒式旋轉涂布機MSC-200T-D桌上型半自動旋轉涂布機用于對均勻性和一致性要求較高的表面涂布工藝，將光刻膠溶液自動涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰、光柵、ITO、掩模版等基片上形成薄膜，主要應用于6、8寸晶圓及方形樣品。將基材涂上一層特定的光刻膠、感光涂料或油墨，取出后在進行后道烘干工藝。針對滴膠量要求不高的客戶，針筒滴膠適合科研和一致性要求較高客戶。

基礎信息

產品型號

MSC-200T-D

廠商性質

生產廠家

更新時間

2026-06-20

瀏覽次數

2163

產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

涂膠顯影機

勻膠機涂布機

查看全部產品

旋涂儀——薄膜制備工藝中均勻涂覆的精密掌控者

鈣鈦礦旋涂儀——專為高效光伏器件成膜而生的惰性氣氛旋涂方案

精準點滴，均勻成膜——針筒式旋轉涂布機賦能科研與中試精密工藝

簡述針筒式旋轉涂布機的技術原理與核心優勢

詳細介紹

品牌	重光

針筒式旋轉涂布機應用程序：

人工放置基板->啟動真空吸附->基板吸附于轉盤上 ->自動滴膠->旋轉開啟->低轉速->中轉速->高轉速->旋轉停止->去邊->破真空->人工取件。

針筒式旋轉涂布機產品特點：

針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產，不用清洗管道；

整機用料扎實、750W進口伺服電機、適合更大更重樣品；

吸盤平整度精細加工平磨，均勻性好，可達1%以內；

電氣獨立集成機身側面，避免因腔體漏液到設備內部導致短路風險；

配置光膠過濾器，清洗保養方便，避免堵膠帶來飛片風險；

真空負壓數值顯示和低真空報警，避免因負壓不足帶來飛片風險。

安全措施：

功能	規格
真空檢知	面版上有數位顯示計，低壓報警
蓋子檢測	運行中開蓋報警
防吸入光阻裝置	加裝于真空PUMP之前,預防光阻液吸入需定期清潔保養
電控箱	位置放在側面，防止漏液帶來短路風險

產品參數：

桌上型半自動旋轉涂布機	供電電壓	AC220V,50Hz	操作方式	7寸觸控屏
	轉速	20~10000rpm	滴膠方式	手動滴膠/自動
	加速度	350~10000rpm/s	編程	可編程50組20步
	減速度	350~10000rpm/s	均勻性	1%
	轉速分辨率	1rpm	抽氣接口	Φ6mm快擰接口
	單步時間	3000s	整機尺寸	650mm×500mm×550mm
	基片尺寸	直徑≤8英寸(200mm)	整機重量	55kg
	腔體材質	PTFE	光刻膠容器	膠泵、壓力罐、美式針筒
	滴膠管路	≤3路（背洗、去邊可選）	核心配件品牌	SMC、CKD、松下、西門子、小金井等
排氣系統	真空泵	干式機械泵
	抽氣速率	50L/min
	供電電源	AC220V 50/60Hz

可提供12寸晶圓（均勻性＜2%）、方片、膠泵滴膠、壓力罐滴膠等多種滴膠方式，以滿足不同產量要求，更多需求可咨詢。

可選抽風或者防反濺腔體等服務。

如有特殊要求可咨詢，如滴膠量精度、脫泡、流量監控、雜質過濾等。我司將已專業的角度給你分析更加適合你的產品選型。

上一篇MSC系列桌上型旋轉涂布機

下一篇全柜式涂膠顯影機

在線留言

留言框

產品：

您的單位：

您的姓名：

聯系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：